走査電子顕微鏡用試料ステージ

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-246926
公開番号（公開出願番号）：特開2001-076662
出願日： 1999年09月01日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：

【要約】【課題】従来、走査電子顕微鏡用試料ステージによる試料の引張りの状態観察を行う場合、引張りの方向が水平一方向のみであり、引張り力は大きいが引張りの変位量が少なかった。本発明は、当該課題に鑑み、走査電子顕微鏡試料ステージにおいて引張り変位量が大きく、引張り方向を変更できるようにした。【解決手段】試料を上下する機構を設け、試料をステージベースに固定された固定台に押し付けることにより試料の移動量よりも大きい変形量が得られる。また、試料を固定する試料台と押し付ける固定台とを変更することにより、引張り方向の変更が可能となる。

請求項（抜粋）：

試料を上下に移動することにより試料を引張ることができる機能を有することを特徴とした走査電子顕微鏡用試料ステージ。

IPC (2件)：

H01J 37/20 , G01N 23/225

FI (3件)：

H01J 37/20 F , H01J 37/20 E , G01N 23/225

Fターム (17件)：

2G001AA03 , 2G001BA07 , 2G001CA03 , 2G001GA01 , 2G001GA06 , 2G001HA09 , 2G001JA12 , 2G001JA14 , 2G001MA05 , 2G001PA14 , 2G001PA16 , 2G001QA01 , 2G001RA03 , 5C001AA01 , 5C001BB01 , 5C001BB07 , 5C001CC04

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