研磨装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森本義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-068650
公開番号（公開出願番号）：特開平5-318296
出願日： 1991年04月02日
公開日（公表日）： 1993年12月03日
要約：

【要約】【構成】公転しながら自転する複数の研磨体66,67を設け、研磨体の内の一つの研磨体66を、公転軸心37を越える大径に設定した板状物研磨装置。【効果】研磨体を所定の位置とした状態で、公転しながら自転している研磨体群を移動装置により公転軸心に沿った方向に移動させ被研磨物に当接させることで、被研磨物に対する所期の研磨を行うことができる。一つの研磨体が前記公転軸心を越える大径研磨体であることから、公転軸心の付近を常に研磨することができ、被研磨物の全面に対する均一な研磨を行うことができる。

請求項（抜粋）：

公転軸心の周りで回転自在な支持部材と、この支持部材に連動する回転駆動装置を設け、前記支持部材に前記公転軸心に沿った自転軸心の周りで回転自在な複数の縦軸を挿通するとともに、各縦軸に連動する縦軸駆動装置を設け、各縦軸の下端に研磨体を取り付け、これら研磨体の内の少なくとも一つの研磨体を残りの研磨体よりも大径に設定し、前記研磨体を公転軸心に沿った方向に移動させる移動装置を設けたことを特徴とする研磨装置。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭64-034639
特開昭52-054223

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