特許

J-GLOBAL ID：200903094064823868

注入イオン量計数装置

発明者： 鷹屋 憲志 ,  坂本 久美
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-217124
公開番号（公開出願番号）：特開平9-063979
出願日： 1995年08月25日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：

【要約】【課題】 2次イオンが発生しても設定注入量と実注入量の値に誤差を生じない注入イオン量計数装置を提供する。【解決手段】 2次電子漏れ防止用電極4に2次イオンカウンタ9を設け、2次イオンカウンタ9からイオン注入量カウンタ5にフイードバックパス10を設けて、2次電子7と2次イオン8の計数値をキャンセルし、イオンビーム2のみの量が計数される。

請求項（抜粋）：

ファラデーカップにイオン源から照射されるイオンビームを受けるイオン受容部を設け、前記ファラデーカップの開口の周辺に2次電子漏れ防止用電極を配置し、前記2次電子漏れ防止用電極を負バイアス電源、2次イオンカウンタを介して、アースに接続し、前記ファラデーカップと接地間にイオン注入量カウンタを配置し、前記2次イオンカウンタの出力をイオン注入量カウンタにフィードバックするフィードバックパスを設けて成る注入イオン量計数装置。