特許

J-GLOBAL ID：200903094065135060

転動装置

発明者： 齋藤 剛 ,  伊藤 裕之
出願人/特許権者： 日本精工株式会社
代理人 (1件)： 森 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-150987
公開番号（公開出願番号）：特開2003-343579
出願日： 2002年05月24日
公開日（公表日）： 2003年12月03日
要約：

【要約】【課題】 半導体製造装置や液晶パネル製造装置、食品加工装置等の清浄な雰囲気を必要とする環境下等において好適に使用でき、また、高真空、高温、高速、清浄環境下においても使用することができ、装置から発生する塵埃やアウトガスが少なく優れたトルク寿命を有する転動装置を提供する。【解決手段】 外輪11と、内輪12と、外輪11と内輪12との間に転動自在に配設された複数の玉13とを備えた転がり軸受10において、外輪11、内輪12及び玉13の内の少なくとも一つを脱脂洗浄後、表面を加熱してハロゲン系ガスを用いて表面を活性化した後に、フッ素油被膜15被覆し、且つ、内部にフッ素系グリースを封入する。

請求項（抜粋）：

外方部材と、内方部材と、前記外方部材と前記内方部材との間に転動自在に配設された複数の転動体とを備えた転動装置において、前記外方部材、前記内方部材および前記転動体の内の少なくとも一つを脱脂洗浄後、表面を加熱してハロゲン系ガスを用いて表面を活性化した後に、潤滑剤を塗布、封入又は被覆したことを特徴とする転動装置。

IPC (6件)：

F16C 33/64 ,  F16C 29/04 ,  F16C 33/62 ,  F16C 33/66 ,  F16H 25/22 ,  F16H 25/24

FI (8件)：

F16C 33/64 ,  F16C 29/04 ,  F16C 33/62 ,  F16C 33/66 Z ,  F16H 25/22 L ,  F16H 25/24 A ,  F16H 25/24 B ,  F16H 25/24 J

Fターム (43件)：

3J062AA28 ,  3J062AA60 ,  3J062AB22 ,  3J062AC07 ,  3J062BA27 ,  3J062CD32 ,  3J062CD45 ,  3J062CD54 ,  3J062CD62 ,  3J062CD75 ,  3J101AA02 ,  3J101AA42 ,  3J101AA52 ,  3J101AA62 ,  3J101BA10 ,  3J101BA70 ,  3J101CA33 ,  3J101DA05 ,  3J101EA06 ,  3J101EA63 ,  3J101EA66 ,  3J101EA78 ,  3J101FA31 ,  3J101GA55 ,  3J104AA02 ,  3J104AA13 ,  3J104AA23 ,  3J104AA36 ,  3J104AA63 ,  3J104AA65 ,  3J104AA69 ,  3J104AA74 ,  3J104AA75 ,  3J104BA03 ,  3J104BA05 ,  3J104BA23 ,  3J104BA41 ,  3J104BA80 ,  3J104CA03 ,  3J104CA20 ,  3J104CA23 ,  3J104DA06 ,  3J104EA10