保持装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤正年 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-199801
公開番号（公開出願番号）：特開平5-021584
出願日： 1991年07月16日
公開日（公表日）： 1993年01月29日
要約：

【要約】【目的】高剛性,軽量,高寸法安定性の特性とともに優れた防塵効果を有する保持装置を提供する。【構成】ウエハホルダWHのウエハ吸着面には、同心円状(又は螺旋状)の環状凸部(ウエハW支持部)1と環状凹部(真空吸着溝)2が一定のピッチで形成されている。各環状凹部2には真空吸着のための吸気孔3が半径方向に並べて形成され、各吸気孔3はウエハホルダWH内部に半径方向に伸びたスリーブ状の孔4と連通している。この孔4に真空源をつなげて減圧すると、ウエハは環状凸部1の上面にならって平坦化矯正される。ウエハホルダWHの少なくともウエハ接触部(望ましくはホルダ全体)はTiC含有Al2 O3 焼結体で構成されており、導電性を有し、焼結体に特有の気孔が少ない。

請求項（抜粋）：