特許
J-GLOBAL ID：200903094070984466
透明導電性膜の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
前田 純博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-087239
公開番号（公開出願番号）：特開平7-278792
出願日： 1994年04月04日
公開日（公表日）： 1995年10月24日
要約：
【要約】【目的】 酸化インジウムを主成分とし,所望の領域の結晶性を制御した透明導電性膜を得る方法を提供する。【構成】 酸化スズおよび/または酸化インジウムを含む透明導電性膜に、電子ビームまたはイオンビームを所望部分に照射し、該照射部分の結晶サイズを選択的に成長させる。
請求項（抜粋）：
酸化スズおよび/または酸化インジウムを含む透明導電性膜に電子ビームまたはイオンビームを所望部分に照射し、該照射部分の結晶サイズを選択的に成長させることを特徴とする透明導電性膜の製造方法。
IPC (4件)：
C23C 14/08
, B29D 7/00
, H01L 21/28 301
, H01L 21/027
