特許
J-GLOBAL ID：200903094075252900
基板の位置決め装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-275272
公開番号（公開出願番号）：特開平5-114644
出願日： 1991年10月23日
公開日（公表日）： 1993年05月07日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 基板の機械的なプリアライメント時の安定性を向上させ、基板のそり等を防止する。【構成】 機械的なプリアライメント時に、基板19の端面を基準ローラの外枠1に押し付けた状態で、基板をホルダー20面に吸着する際、基準ローラが微小量だけ軸5方向(位置決め方向と直交する方向)に弾性変位可能なように構成する。
請求項（抜粋）：
位置決めすべき基板を載置する載置面を有し、該載置面に前記基板を吸着する載置手段と、該載置手段の載置面に対して所定の位置関係で配置され、前記基板の端面と当接して前記基板を載置手段上で位置決めする基準部材と、前記載置手段上の基板を前記基準部材の方向へ押圧する押圧部材とを備え、前記基準部材に当接させた状態で前記基板を前記載置手段に吸着する位置決め装置において、前記基準部材は、前記載置手段の載置面に対してほぼ鉛直な方向に延びた軸を中心として転動可能に軸支され、周面が前記基板の端面と当接する転動体と、該転動体を軸方向に所定量だけ変位可能に支持する軸受機構とで構成され;さらに、前記基板の載置面への吸着時に前記基板の端面が前記軸方向に変位するのに伴って前記転動体が軸方向に変位するように、前記転動体を前記変位可能な範囲内の特定の位置に付勢する付勢部材を設けたことを特徴とする基板の位置決め装置。
IPC (2件)：
H01L 21/68
, G02F 1/136 500
