特許

J-GLOBAL ID：200903094079046469

異物判別方法

発明者： 小野 明
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-004828
公開番号（公開出願番号）：特開平6-213820
出願日： 1993年01月14日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：

【要約】【目的】本発明はパターン欠陥と付着ごみ等の異物とを区別して確実に異物を判別できるものである。【構成】例えば転写用マスク(1) に形成されたパターンの凹凸よりも大きい異物(4) を判別する異物判別方法において、転写用マスク上に合焦点させたときに撮像装置(10)の撮像により得られる濃淡画像データと転写用マスクの僅か上方に合焦点させたときに撮像装置の撮像により得られる濃淡画像データとにおける各濃淡レベルを比較し、この濃淡レベルの急変部分を異物と判別する。

請求項（抜粋）：

被検査体に形成されたパターンの凹凸よりも大きい異物を判別する異物判別方法において、前記被検査体上に合焦点させたときに撮像装置の撮像により得られる濃淡画像データと前記被検査体の僅か上方に合焦点させたときに前記撮像装置の撮像により得られる濃淡画像データとにおける各濃淡レベルを比較し、この濃淡レベルの急変部分を前記異物と判別することを特徴とする異物判別方法。