特許

J-GLOBAL ID：200903094082691529

走査プローブ顕微鏡による粒子状試料の観察方法及び走査プローブ顕微鏡用粒子状試料体

発明者： 末 吉 孝
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-264014
公開番号（公開出願番号）：特開2001-091440
出願日： 1999年09月17日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：

【要約】【課題】 走査プローブ顕微鏡による粒子状試料の観察方法を提供する。【解決手段】 粘性溶媒32の収容された容器内に観察対象となる粒子状試料31を入れて攪拌分散させる。平坦な基板33の上にマイクログリッド35を張り付け、マイクログリッドの各直方体状の孔をセル34とする。各セル内に、粒子状試料31が攪拌分散された粘性溶媒2を充填する。この様な試料体30を原子間力顕微鏡の試料としてセットし、試料体30をZ軸方向に極めてゆっくり移動させる。カンチレバー2の一定のバネ押圧力により探針3はセル34内において粘性溶媒32と粒状試料31とを移動させながら粘性溶媒中をZ軸方向に侵入して行く。セル34の壁からの向力と前記押圧力が釣り合ったところで、該探針のZ軸方向への移動が停止する。該停止位置を含む水平面上を探針で走査する。

請求項（抜粋）：

探針付きカンチレバーと試料を接近させて対向配置し、探針と試料との相対的位置を変化させ、探針と試料間の相互作用に基づいて試料表面の像情報を得るようにした走査プローブ顕微鏡による粒子状試料の観察方法であって、粒子状試料を粘性溶媒中に攪拌分散させ、該粘性溶媒中に探針を侵入させ、その状態において探針と試料との相対的位置を変化させるようにした走査プローブ顕微鏡による粒子状試料の観察方法。

IPC (7件)：

G01N 13/10 ,  G01B 7/34 ,  G01B 11/30 ,  G01B 21/30 ,  G01N 13/16 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/28

FI (7件)：

G01N 13/10 Z ,  G01B 7/34 Z ,  G01B 11/30 Z ,  G01B 21/30 Z ,  G01N 13/16 A ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/28

Fターム (42件)：

2F063AA43 ,  2F063BA29 ,  2F063BA30 ,  2F063BC10 ,  2F063CA40 ,  2F063DA01 ,  2F063DB05 ,  2F063DB06 ,  2F063DD02 ,  2F063EA16 ,  2F063EB15 ,  2F063EB23 ,  2F065AA49 ,  2F065BB00 ,  2F065CC16 ,  2F065DD00 ,  2F065FF43 ,  2F065KK01 ,  2F065LL12 ,  2F065LL46 ,  2F065MM03 ,  2F065MM07 ,  2F065PP22 ,  2F065TT07 ,  2F065UU04 ,  2F069AA60 ,  2F069BB40 ,  2F069DD30 ,  2F069GG02 ,  2F069GG06 ,  2F069GG07 ,  2F069GG17 ,  2F069GG18 ,  2F069HH04 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ15 ,  2F069LL03 ,  2F069MM21 ,  2F069MM34 ,  2F069RR01 ,  5C001CC04 ,  5C001CC08