特許
J-GLOBAL ID：200903094093130154
基板移載装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-048093
公開番号（公開出願番号）：特開平5-214535
出願日： 1992年02月03日
公開日（公表日）： 1993年08月24日
要約：
【要約】【目的】 1枚の基板の搬送と5枚の基板の搬送とを、必要最小限の5個の基板保持部材を備えて行うことができるようにして、経済性を向上する。【構成】 1個の基板保持部材2aを備えた1枚用基板保持具2と、4個の基板保持部材3a...を備えた4枚用基板保持具3とを、第1および第2の移送機構4,5を介して基板受け渡し位置と退避位置とにわたって移送するように構成し、更に、マイクロコンピュータ15によって、第1および第2の移送機構4,5の駆動状態を、第1の移送機構4のみを駆動する状態と、第1および第2の移送機構4,5を同調して駆動する状態とに切換制御し、適宜、1枚の基板を移載する状態と、5枚の基板を移載する状態とを得られるように構成する。必要なら第2の移送機構5のみの制御も可能である。
請求項（抜粋）：
基板を保持する基板保持部材の複数個を備えた基板保持具と、その基板保持具を基板受け渡し位置と退避位置とにわたって移送する移送機構とを備えた基板移載装置において、前記基板保持具を、1個の基板保持部材を備えた1枚用基板保持具と、4個の基板保持部材を備えた4枚用基板保持具とから構成し、かつ、前記移送機構を、前記1枚用基板保持具を基板受け渡し位置と退避位置とにわたって移送する第1の移送機構と、前記4枚用基板保持具を基板受け渡し位置と退避位置とにわたって移送する第2の移送機構とから構成し、更に、前記第1および第2の移送機構の駆動状態を、前記第1又は第2の移送機構のみを駆動する状態と、前記第1および第2の移送機構を同調して駆動する状態とに切換制御する制御装置を設けたことを特徴とする基板移載装置。
IPC (5件)：
C23C 16/44
, B65G 43/08
, B65G 49/07
, B65H 1/28 322
, H01L 21/68
