特許
J-GLOBAL ID:200903094097255407

剥離用当て板、剥離装置及び方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 藤元 亮輔
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-027729
公開番号(公開出願番号):特開2002-231614
出願日: 2001年02月05日
公開日(公表日): 2002年08月16日
要約:
【要約】【課題】 解像度、スループット及び経済性に優れた露光をもたらす剥離用当て板、剥離装置及び方法を提供する。【解決手段】 被処理体に密着され、近接場光を利用して所定のパターンを前記被処理体に露光する弾性変形可能な薄膜を前記被処理体から剥離する際に使用される当て板は、前記薄膜の前記被処理体から剥離する方向の弾性変形を前記薄膜と接触することによって規制する規制部と、前記規制部を支持する支持部とを有する。
請求項(抜粋):
被処理体に密着され、所定のパターンを前記被処理体に露光する為に用いられる弾性変形可能な薄膜を前記被処理体から剥離する際に使用される当て板であって、前記薄膜の前記被処理体から剥離する方向の弾性変形を前記薄膜と接触することによって規制する規制部と、前記規制部を支持する支持部とを有する当て板。
IPC (2件):
H01L 21/027 ,  G03F 7/213
FI (3件):
G03F 7/213 H ,  H01L 21/30 508 ,  H01L 21/30 502 D
Fターム (4件):
5F046BA01 ,  5F046BA10 ,  5F046CB17 ,  5F046DA24

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