特許
J-GLOBAL ID：200903094098386262
強誘電体のドメイン反転構造形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柳田 征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-029208
公開番号（公開出願番号）：特開平6-242480
出願日： 1993年02月18日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：
【要約】【目的】 各ドメイン反転部を互いに均一な形状にして、所定周期のドメイン反転構造を再現性良く形成する。【構成】 単分極化された非線形光学効果を有する強誘電体である、LiTaO3 基板1に所定パターンに電子線3等の高エネルギー線を照射するか、あるいは電場を印加して周期ドメイン反転部9を形成する場合、ドメイン反転部9を形成する前に、高エネルギー線の照射あるいは電場印加を受ける基板表面1bに窒素イオン5等の荷電粒子を照射するなどにより、この表面1bの表面電位分布を均一化する。
請求項（抜粋）：
単分極化された非線形光学効果を有する強誘電体に、所定パターンに高エネルギー線を照射するか、あるいは電場を印加してドメイン反転構造を形成する方法において、ドメイン反転構造を形成する前に、前記高エネルギー線の照射あるいは電場印加を受ける強誘電体表面の表面電位分布を均一化する処理を行なうことを特徴とする強誘電体のドメイン反転構造形成方法。
IPC (3件)：
G02F 1/37
, G02B 6/12
, G02F 1/35 505
