特許
J-GLOBAL ID：200903094099930810
薄膜多結晶の膜構造同定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-284051
公開番号（公開出願番号）：特開2003-092265
出願日： 2001年09月18日
公開日（公表日）： 2003年03月28日
要約：
【要約】【課題】 薄膜多結晶の膜構造モデルを用いた成長シミュレーションを併用することで、結晶解析の測定から薄膜多結晶の膜構造を同定する方法を提供することを目的とする。【解決手段】 対象となる薄膜多結晶について結晶解析データを測定する工程と、前記薄膜多結晶の製膜条件に基づいて薄膜多結晶の膜構造シミュレーションを行ない、前記結晶解析データと一致するように膜構造を指定するパラメータを調整することによって、前記薄膜多結晶の膜構造を推定する工程とを含むことを特徴とする薄膜多結晶の膜構造同定方法。
請求項（抜粋）：
対象となる薄膜多結晶について結晶解析データを測定する工程と、前記薄膜多結晶の製膜条件に基づいて薄膜多結晶の膜構造をシミュレーションし、前記結晶解析データと一致するように膜構造を指定するパラメータを調整することによって、前記薄膜多結晶の膜構造を推定する工程とを含むことを特徴とする薄膜多結晶の膜構造同定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (5件)：
4K030BA29
, 4K030BB03
, 4K030LA16
, 5F045AB03
, 5F045GB17
出願人引用 (7件)
全件表示
審査官引用 (2件)
前のページに戻る
