特許

J-GLOBAL ID：200903094105910649

静電吸着体及びこの静電吸着体を用いたシート状被吸着物の移送方法

発明者： 宮下 欣也 ,  藤澤 博
出願人/特許権者： 株式会社クリエイティブ テクノロジー
代理人 (3件)： 成瀬 勝夫 ,  中村 智廣 ,  佐々木 一也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-339077
公開番号（公開出願番号）：特開2006-149156
出願日： 2004年11月24日
公開日（公表日）： 2006年06月08日
要約：

【課題】 各種シート状の被吸着物を均一に、かつ、平坦性良く確実に吸着でき、これらのシート状の被吸着物に対してテンションをかけずに移送することができる静電吸着体を提供する。また、各種シート状の被吸着物に対して余計なテンションをかけずにしわ、ゆがみ、こすれ、やぶけ等の問題を発生することなく、均一に平坦性良く確実に吸着して移送することができるシート状被吸着物の移送方法を提供する。【解決手段】 互いに極性の異なる電圧が印加される第一電極及び第二電極と、これら第一電極と第二電極との間に設けられる電極間絶縁材とからなる電極部材を有した静電チャックが柱状又は筒状の支持体の外周面に設けられ、この静電チャックが被吸着物を吸着する吸着面を形成する静電吸着体である。また、上記静電吸着体を用い、吸着面の少なくとも一部にシート状の被吸着物を吸着しながらこの被吸着物を移送するシート状被吸着物の移送方法である。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

互いに極性の異なる電圧が印加される第一電極及び第二電極と、これら第一電極と第二電極との間に設けられる電極間絶縁材とからなる電極部材を有した静電チャックが柱状又は筒状の支持体の外周面に設けられ、この静電チャックが被吸着物を吸着する吸着面を形成することを特徴とする静電吸着体。

IPC (1件)：

H02N 13/00

FI (1件)：

H02N13/00 D

引用特許：

出願人引用 (2件)

• フレキシブル有機ELディスプレイの製造方法及び装置
  公報種別：再公表公報   出願番号：JP2000004551   出願人：ソニー株式会社
• 注入形電場発光デバイスとその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-183365   出願人：松下電器産業株式会社

審査官引用 (4件)

• 静電チャック装置用電極シート及びこれを用いた静電チャック装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-024658   出願人：株式会社巴川製紙所
• 吸着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-214235   出願人：株式会社リコー
• 特開平4-179670
  
• 特開昭64-081743