加速度センサ

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-221861
公開番号（公開出願番号）：特開平8-086806
出願日： 1994年09月16日
公開日（公表日）： 1996年04月02日
要約：

【要約】【目的】加工の後工程で、多層基板に設けた凹部中に収める回路部の、精度良い位置決めを容易にする。【構成】絶縁性基板の一方の面には、検知素子と、検知素子を覆う検知素子カバーが取付けられ、また他方の面には密閉空間を形成する多層基板が取り付けられる。密閉空間内の絶縁性基板には回路部が設けられ、多層基板には回路部を収容する凹部が設けられる。回路部および多層基板は、検知素子と電気的に接続する。凹部の側面は、開口部に向かって広がるごとく傾斜しており、絶縁性基板に位置精度良く接続した回路部を傾斜面を案内に落とし込むと回路部は傾斜面上の所定位置に精度良く係止される。

請求項（抜粋）：

絶縁性基板と、該絶縁性基板の一方の面に取付けた検知素子と、該検知素子を覆うように前記絶縁性基板に固着した検知素子カバーと、前記絶縁性基板の他方の面に固着して密閉空間を形成するとともに、第二の接続部を介して前記検知素子に接続する多層基板と、該多層基板の前記絶縁性基板と対向する面に設けた凹部と、該凹部中に収容され、第一の接続部を介して前記検知素子に接続する回路部とからなる加速度センサにおいて、前記凹部の側面は開口部に向かって広がるごとく傾斜して前記回路部の位置を傾斜面あるいは前記凹部の底面で規制する構成を特徴とする加速度センサ。

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