特許
J-GLOBAL ID:200903094128856943
コンフォーマル超薄膜を有する金属含有微粒子の絶縁化及び機能化方法
発明者:
,
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
下田 昭
, 赤尾 謙一郎
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-513771
公開番号(公開出願番号):特表2005-501176
出願日: 2002年07月16日
公開日(公表日): 2005年01月13日
要約:
原子層成膜法を用い、超薄膜コンフォーマル皮膜を有する粒子を作製する。ベース粒子には、セラミック材料や金属材料が含まれる。皮膜は又セラミック材料又は金属材料であってもよく、これらは二元連続反応工程で成膜することができる。被膜された粒子は電子機器実装用途の充填材としてだけではなく、セラミック又はサーメット部品製造用や触媒担体として用いられたり、その他の用途に使われる。
請求項(抜粋):
表面に超薄膜無機材料が成膜された基質粒子から成る平均粒径が500ミクロン(μm)以下の粒子材料。
IPC (11件):
C23C16/44
, A61K47/02
, A61K49/00
, B01J35/02
, B01J37/02
, B22F1/02
, B32B9/00
, C01B21/064
, C04B35/628
, C08K9/02
, C08L101/00
FI (11件):
C23C16/44 Z
, A61K47/02
, A61K49/00 C
, B01J35/02 H
, B01J37/02 301P
, B22F1/02 D
, B32B9/00 A
, C01B21/064 M
, C08K9/02
, C08L101/00
, C04B35/00 B
Fターム (154件):
4C076AA22
, 4C076AA29
, 4C076AA95
, 4C076BB11
, 4C076CC27
, 4C076CC32
, 4C076DD21
, 4C076EE01
, 4C076FF68
, 4C085HH01
, 4C085HH07
, 4C085JJ03
, 4C085KA28
, 4C085KA36
, 4C085KB07
, 4C085KB08
, 4C085LL03
, 4C085LL05
, 4C085LL07
, 4F100AA01A
, 4F100AA04A
, 4F100AA09A
, 4F100AA12A
, 4F100AA15A
, 4F100AA19A
, 4F100AA20A
, 4F100AA37B
, 4F100AB01A
, 4F100AB01B
, 4F100AB02B
, 4F100AB10A
, 4F100AB13
, 4F100AB15A
, 4F100AB16A
, 4F100AB31A
, 4F100AH06A
, 4F100AH08A
, 4F100AT00B
, 4F100BA02
, 4F100DD32
, 4F100DE01
, 4F100GB41
, 4F100GB66
, 4F100GB90
, 4F100JG06B
, 4F100JM02A
, 4F100YY00A
, 4F100YY00B
, 4G030AA36
, 4G030AA37
, 4G030AA41
, 4G030AA44
, 4G030AA45
, 4G030AA47
, 4G030AA48
, 4G030AA50
, 4G030AA51
, 4G030AA52
, 4G030AA55
, 4G030BA32
, 4G030BA34
, 4G030CA03
, 4G030GA01
, 4G069AA03
, 4G069AA08
, 4G069AA11
, 4G069BA01B
, 4G069BA02B
, 4G069BA04A
, 4G069BB02A
, 4G069BB04A
, 4G069BB09A
, 4G069BB11A
, 4G069BB11B
, 4G069BB13A
, 4G069BC01A
, 4G069BC09A
, 4G069BC10A
, 4G069BC12A
, 4G069BC13A
, 4G069BC15A
, 4G069BC16A
, 4G069BC17
, 4G069BC17A
, 4G069BC18A
, 4G069BC20A
, 4G069BC35A
, 4G069BC36A
, 4G069BC37A
, 4G069BC38A
, 4G069BC39A
, 4G069BC44A
, 4G069BC54A
, 4G069BC62A
, 4G069BC66A
, 4G069BC67A
, 4G069BC68A
, 4G069BC68B
, 4G069BD03A
, 4G069BD03B
, 4G069EA01X
, 4G069EA01Y
, 4G069EB15X
, 4G069EB15Y
, 4G069EB18X
, 4G069EB18Y
, 4G069EB19
, 4G069FA03
, 4G069FB02
, 4J002AA001
, 4J002DB016
, 4J002DE086
, 4J002DE096
, 4J002DE106
, 4J002DE116
, 4J002DE136
, 4J002DE146
, 4J002DF016
, 4J002DJ006
, 4J002DJ016
, 4J002DK006
, 4J002FB076
, 4J002FD016
, 4J002FD206
, 4K018BC28
, 4K030AA03
, 4K030AA04
, 4K030AA11
, 4K030AA24
, 4K030BA01
, 4K030BA02
, 4K030BA05
, 4K030BA14
, 4K030BA16
, 4K030BA18
, 4K030BA20
, 4K030BA29
, 4K030BA38
, 4K030BA42
, 4K030BA43
, 4K030BA50
, 4K030BA51
, 4K030BB12
, 4K030CA01
, 4K030CA02
, 4K030CA05
, 4K030CA18
, 4K030FA10
, 4K030GA02
, 4K030HA01
, 4K030HA14
, 4K030JA01
, 4K030KA08
, 4K030LA11
引用特許:
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