VCSELを用いて刺激を測定する方法及び装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：志賀正武 , 渡邊隆 , 青山正和 , 村山靖彦 , 実広信哉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-541102
公開番号（公開出願番号）：特表2005-508095
出願日： 2002年10月23日
公開日（公表日）： 2005年03月24日
要約：

集積MEMS同調機構を組み込んだ同調可能面発光型半導体レーザ(VCSEL)(31)を利用する光センサ診断措置は、改善された波長走査速度及び著しく簡単な構造を用いて可変波長光を光ファイバへ供給する。ブラッグ格子のようなセンサは、光路においてファイバに沿って配置される。各センサは、波長に対して特性振幅特徴を示す光を反射又は透過し、特性振幅特徴の波長位置は、課される環境刺激の影響を受ける。反射光の出力は、簡単な検出器によって電気信号に変換され、反射出力の変化を検出する回路によって監視され、各センサに対する環境刺激を示す出力信号を与える。

請求項（抜粋）：

同調制御信号に応答して波長可変光を提供する、集積MEMS波長チューナを含む同調可能VCSELであって、前記可変光は光導波管へ放たれ、前記同調可能VCSELは、移動可能同調ミラーと、前記移動可能同調ミラーの位置を検出しかつフィードバックを与える容量検出器又は光学検出器と、を含む同調可能VCSELと; 前記可変光の経路に配置された少なくとも一つの光学センサであって、透過波長範囲内の特定波長に位置する、極小点、極大点、又は傾き、からなる群より選択された少なくとも一つの関連特性振幅特徴を有する透過光を与え、前記極小点、極大点、又は傾きの透過振幅それぞれにおける波長は、前記少なくとも一つのセンサに課される環境刺激に応答する、少なくとも一つの光学センサと;を含み、前記同調可能VCSELは、前記関連特性透過振幅特徴の前記波長位置にわたる波長範囲で前記少なくとも一つのセンサを個別に照明する;ものであり、前記同調可能VCSELと前記少なくとも一つのセンサとの間の前記可変光の経路に配置された光アイソレータであって、前記少なくとも一つのセンサから反射された光から前記可変光源を分離する光アイソレータと; 前記透過光の経路に配置された光検出器であって、前記少なくとも一つのセンサからの前記透過光を検出し、かつ所定の波長範囲にわたって前記透過光の出力を示す電気検出信号を与える、光検出器と; 前記可変光の所望の波長を示す前記同調可能VCSELへ可変同調制御信号を与える制御装置と; 前記同調制御信号と前記光の経路に配置された移動可能ミラー位置検出器とから独立した少なくとも一つの波長基準と; 前記電気検出信号に応答する信号処理装置であって、前記環境刺激、すなわち前記環境刺激の変化によって引き起こされる特性透過振幅特徴の前記波長の変化による、前記少なくとも一つのセンサに対する影響を量的に検出するために、特性透過振幅特徴に定められた波長を検出し、かつ前記刺激すなわち変化を示す信号を与える信号処理装置と;を含むことを特徴とする光センサ診断装置。

IPC (6件)：

H01S5/183 , G01N21/27 , G01N21/39 , G02B26/00 , G02B27/28 , H01S5/06

FI (6件)：

H01S5/183 , G01N21/27 C , G01N21/39 , G02B26/00 , G02B27/28 A , H01S5/06

Fターム (34件)：

2G059AA05 , 2G059EE02 , 2G059EE11 , 2G059EE12 , 2G059GG01 , 2G059GG06 , 2G059GG09 , 2G059JJ05 , 2G059JJ13 , 2G059JJ17 , 2G059JJ22 , 2G059KK01 , 2G059KK04 , 2G059MM05 , 2H041AA21 , 2H041AB14 , 2H099AA00 , 2H099BA01 , 2H099BA05 , 2H099DA00 , 2H099DA01 , 5F173AC20 , 5F173AR06 , 5F173MA10 , 5F173MF02 , 5F173MF12 , 5F173MF28 , 5F173SA08 , 5F173SA09 , 5F173SA26 , 5F173SC10 , 5F173SF03 , 5F173SF33 , 5F173SF54

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