特許

J-GLOBAL ID：200903094131021992

窒化珪素-炭化珪素質複合焼結体の製造方法

発明者： 佐藤 政宏 ,  高坂 祥二 ,  寺園 正喜
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-176446
公開番号（公開出願番号）：特開平5-024926
出願日： 1991年07月17日
公開日（公表日）： 1993年02月02日
要約：

【要約】【構成】 Er2 O3 Yb2 O3 Ho2 O3 Dy2 O3 等の周期律表第3a族元素酸化物を0.2〜10モル%と、残部が珪素、あるいは珪素と窒化珪素よりなる成分100重量部に対して、炭化珪素を1〜150重量部の割合で添加してなる成形体を作製し、これを800〜1500°Cの窒素含有雰囲気中で熱処理して成形体中の珪素を窒化して、成形体の密度を高めた後、1600〜2000°Cの窒素を含有する非酸化性雰囲気中で焼成することにより窒化珪素-炭化珪素質複合焼結体を得る。【効果】 焼結体の収縮率および変形量が小さく、寸法精度に優れた焼結体を得ることができる。よって、高寸法精度が要求される熱機関用ロータ等への適用が可能となりこれらの実用化を促進することができる。

請求項（抜粋）：

周期律表第3a族元素酸化物を0.2〜10モル%と、残部が珪素、あるいは珪素と窒化珪素よりなる成分100重量部に対して、炭化珪素を1〜150重量部の割合で添加してなる成形体を800〜1500°Cの窒素含有雰囲気中で熱処理して前記珪素を窒化した後、1600〜2000°Cの非酸化性雰囲気中で焼成し、緻密化することを特徴とする窒化珪素-炭化珪素質複合焼結体の製造方法。

IPC (2件)：

C04B 35/58 102 ,  C04B 35/56 101

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開昭63-030366