特許

J-GLOBAL ID：200903094132683840

磁気研磨装置の磁気研磨ヘッド

発明者： 清水 正樹 ,  満岡 慎一
出願人/特許権者： 旭光学工業株式会社
代理人 (1件)： 三浦 邦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-013823
公開番号（公開出願番号）：特開2001-198798
出願日： 2000年01月24日
公開日（公表日）： 2001年07月24日
要約：

【要約】【目的】 研磨性、研磨効率が高く、短時間で磁気研磨を実行できる磁気研磨装置の磁気研磨ヘッドを得ること。【構成】 磁性及び研磨性を有する磁性砥粒を、磁石を有する磁気研磨ヘッド10で保持して被研磨物を研磨する磁気研磨装置において、磁気研磨ヘッド10の先端に、磁気研磨ヘッドに吸着される磁性砥粒内に埋没される長さの複数の毛状部材15を植設した磁気研磨装置の磁気研磨ヘッド。

請求項（抜粋）：

磁性及び研磨性を有する磁性砥粒を、磁石を有する磁気研磨ヘッドで保持して被研磨物を研磨する磁気研磨装置において、上記磁気研磨ヘッドの先端に、該磁気研磨ヘッドに吸着される磁性砥粒内に埋没される長さの複数の毛状部材を植設したことを特徴とする磁気研磨装置の磁気研磨ヘッド。

Fターム (5件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB03 ,  3C058CB10 ,  3C058DA11