低温ハンドラの温度制御方式

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：影井俊次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-358223
公開番号（公開出願番号）：特開平5-180898
出願日： 1991年12月27日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：

【要約】【目的】特に大型の恒温槽において、ICデバイスを正確に設定温度にまで冷却して、その電気的特性の試験・測定が終了するまで確実にこの温度状態に保持できるようにすることにある。【構成】恒温槽11内に冷却部シュート20と測定部シュート21とを有するICデバイス3の走行路を設けると共に、循環流形成機構として、冷却部シュート20の下方位置にそれと平行に設けたダクト30内に、冷気の循環流を形成するためのクロスフローファン31と共に、その下流側に冷媒噴出パイプ40を装着し、またダクト30内に複数本のロッドヒータ50と、冷却部シュート20及び測定部シュート21が位置する恒温槽11の前面壁11aにパネルヒータ51,52及び温度センサ60,61を設け、冷媒を冷媒噴出パイプ40に供給すると共に、クロスフローファン31を作動させて急速冷却し、温度センサ60,61の温度を検出し、これらが設定温度以下にまで低下していると、パネルヒータ51,52を作動させて、これらの部位が設定温度となるように調整する。

請求項（抜粋）：

ヒータ及び冷媒供給部と、循環流を形成するためのファンとを設けたダクトを備えた恒温槽内にICデバイスの走行路を設け、この走行路の途中位置にICデバイスの試験・測定を行うテストヘッドを臨ませて、走行路に沿って搬送されるICデバイスをこのテストヘッドに接続してその電気的特性の試験測定を行うICハンドラにおいて、前記走行路における冷却部と、テストヘッドに接続するための測定部とにヒータ及び温度センサを設け、前記冷媒供給部から供給される冷媒により前記恒温槽内を設定温度以下に低下させて、前記各ヒータを作動させて、少なくとも前記冷却部及び測定部の位置が設定温度となるように調整することを特徴とする低温ハンドラの温度制御方式。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭60-252276
特開昭63-274883
特開平3-159150

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