特許

J-GLOBAL ID：200903094138350711

線幅測定方法及び装置

発明者： 吉木 良一 ,  小松 浩一
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 伊丹 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-083891
公開番号（公開出願番号）：特開平11-281327
出願日： 1998年03月30日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：

【要約】【課題】 線幅測定を効率良く行う。【解決手段】 画像ウィンドウ内にツールを設定すると、所定走査位置Psから所定走査方向に走査が開始され、画像のエッジ点が第1の検出点P1として検出され、次に走査方向と直交する方向の両側に所定距離hだけそれぞれ離れた位置から所定走査方向にそれぞれ走査が開始されて、次のエッジが第2及び第3の検出点P2,P3として検出される。そして、第2及び第3の検出点P2,P3を結ぶ直線と第1の検出点P1との距離Wが線幅として求められる。線幅測定を繰り返す場合には、求められた第2及び第3の検出点P2,P3を結ぶ直線と当初の走査線との交点P5を次の走査開始点Psとして同様の処理を繰り返す。

請求項（抜粋）：

ワークを撮像して得られたワーク画像を表示する画像ウィンドウ内に矩形状のツールを設定するツール設定ステップと、前記ツール内の所定走査位置を走査開始点とする第1走査開始点決定ステップと、走査開始点から所定走査方向にワーク画像を走査して第1レベル側から第2レベル側へと変化する前記ワーク画像の最初のエッジを検出して第1の検出点とする第1検出ステップと、前記第1の検出点から前記所定走査方向と直交する方向の両側へ所定距離だけ離れた位置から再度前記所定走査方向にワーク画像をそれぞれ走査して第2レベル側から第1レベル側へと変化する前記ワーク画像の最初のエッジをそれぞれ検出して第2及び第3の検出点とする第2検出ステップと、これら検出された第2及び第3の検出点を通る直線を求めると共に、この直線と前記第1の検出点との距離を線幅として算出する線幅算出ステップとを備えたことを特徴とする線幅測定方法。