特許
J-GLOBAL ID：200903094142723786
ファブリ・ペロー型可変波長フィルタ及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-318159
公開番号（公開出願番号）：特開平5-203883
出願日： 1991年12月02日
公開日（公表日）： 1993年08月13日
要約：
【要約】【目的】波長多重光通信技術に必要な可変波長フィルタを、シリコン製アクチュエータとシリコン基板上に形成され端面に鏡が形成された光導波路により低価格で実現する。【構成】シリコン基板上に光軸方向にそって微少ギャップをとり順に配置形成された第1の光導波路と第2の光導波路と第3の光導波路と、第2の光導波路の両端面の一方および第1の光導波路の第2の光導波路側の端面と第3の光導波路の第2の光導波路側の端面の一方にそれぞれ形成された高反射膜とから構成され、第2の光導波路を形成するシリコン基板が可動となっている。
請求項（抜粋）：
シリコン基板上に光軸方向にそって微少ギャップをとり順に配置形成された第1の光導波路と第2の光導波路と第3の光導波路と、前記第2の光導波路の両端面の一方および前記第1の光導波路の前記第2の光導波路側の端面と前記第3の光導波路の前記第2の光導波路側の端面の一方にそれぞれ形成された高反射膜とを備えており、前記第2の光導波路を形成するシリコン基板が可動であることを特徴とするファブリ・ペロー型可変波長フィルタ。
IPC (3件)：
G02B 26/00
, G01J 3/26
, G02B 5/28
