特許
J-GLOBAL ID:200903094148704783
角速度センサ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
足立 勉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-211926
公開番号(公開出願番号):特開平10-274532
出願日: 1997年08月06日
公開日(公表日): 1998年10月13日
要約:
【要約】【課題】 振動子の位置決めを簡単かつ精度よく行うことが可能な角速度センサを提供する。【解決手段】 音叉状に形成された振動子4が支持部材6を介して取り付けられる平板状の基台3には、振動子4と対向する部分に凹部3aが形成されている。振動子4と支持部材6とは互いに接着される面4a,6aが同一形状,同一寸法に形成されているので、接着面の縁部が一致するように該縁部を平らな面に押し付けた状態で接着すれば、振動子4と支持部材6とを簡単かつ位置精度よく組み付けることができ、また、基台3に凹部3aが形成されているので、支持部材6の固定面6bを基台3に密着させ、支持部材6の固定部36の上縁と、凹部3aの下端縁とを位置合わせすることにより、支持部材6(延いては振動子4)を基台3に簡単かつ位置精度よく組み付けることができる。
請求項(抜粋):
外部から所定軸回りの角速度を受ける被測定物に取り付けられる基台と、長尺状の振動部を有する振動子と、前記振動部の長手方向に沿った中心軸が前記基台表面と平行になり、且つ、振動時に前記振動部が前記基台に接触することのないよう、前記振動子を前記基台に固定する支持部と、を備え、前記振動部を前記中心軸に直交する所定方向に励振させ、前記振動部の励振方向とは直交する所定方向の振動状態を検出することにより、該振動状態から前記被測定物が受けた角速度を検出する角速度センサにおいて、前記支持部を介して前記振動子を前記基台に固定する際、前記振動部の中心軸が前記角速度を検出可能な所定軸方向となるように前記振動子を位置決めするための位置合わせ部を、前記基台に形成してなることを特徴とする角速度センサ。
IPC (2件):
FI (2件):
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