特許

J-GLOBAL ID：200903094148869715

プローブ式形状測定装置及び形状測定方法

発明者： 新保 晃平
出願人/特許権者： 株式会社リコー
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-080322
公開番号（公開出願番号）：特開平11-257945
出願日： 1998年03月11日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：

【要約】【課題】 自由曲面の輪郭形状を測定するプローブ式形状測定装置及びその装置における形状測定方法において、測定データより被測定面の形状を正確に推定する。【解決手段】 任意の被測定面に対してプローブの動作軌跡を直交座標系で求める点列データとして、ユーザの設定によるプローブの走査により、第1の点列データと、その第1の点列データの走査方向と直交方向に微小量ずれた位置での第2の点列データを求める。第1の点列データの各点に対して、第1及び第2の点列データより第1の点列データの各点の近傍数点の点群を選び、その点群を平面に近似し、その近似平面の法線ベクトルを求める。

請求項（抜粋）：

測定プローブで被測定面上を走査し、プローブの動作軌跡を直交座標系の点列データとして求める形状測定手段と、測定された点列データより被測定物の輪郭形状を求める演算手段を備えた形状測定装置において、前記形状測定手段は、ユーザの設定によるプローブの走査により、第1の点列データと、該第1の点列データの走査方向と直交方向に微小量ずれた位置での第2の点列データを求める手段であり、前記演算手段は、前記第1の点列データの各点に対して、前記第1及び第2の点列データより第1の点列データの各点の近傍数点の点群を選び、前記点群を平面に近似し、その近似平面の法線ベクトルを求める手段であることを特徴とする形状測定装置。

IPC (3件)：

G01B 21/20 ,  G01B 5/20 ,  G01B 11/24

FI (3件)：

G01B 21/20 C ,  G01B 5/20 C ,  G01B 11/24 A