特許
J-GLOBAL ID:200903094156292451

三次元位置及び姿勢検出センサ

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-204437
公開番号(公開出願番号):特開2001-033208
出願日: 1999年07月19日
公開日(公表日): 2001年02月09日
要約:
【要約】【課題】 高精度の三次元位置情報を得ることができるうえ、小型化が可能な光計測装置を提供する。【解決手段】 光ビームを測定領域に投光し、その反射光および散乱光を位置検出素子上に集光または結像して光スポットを形成し、その位置情報から三角測量方式により測定領域の変位を計測する光センサにおいて、中心部10aが拡散反射部、周辺部表面10bが正反射部であるマーカ10を上記測定領域に設け、平行な光ビームLaを、マーカ中心部10aがこの光ビーム内に包含されるように既知の角度から投光し、マーカ中心部からの散乱光と周辺部表面10bからの反射光とを、角度検出用光学系を有する傾き検出部3,4および5で受光して、これらの集光スポットの位置情報をもとにマーカ10の位置および傾き情報を検出する。
請求項(抜粋):
光ビームを所定の測定領域に投光し、その反射および散乱光を位置検出素子上に集光または結像して光スポットを形成し、その位置情報から三角測量方式により前記測定領域の変位を計測する光計測装置において、測定領域に所定の中心部が拡散面形状を有し、前記中心部以外の周辺部が反射面形状を有するマーカを少なくとも一つ設置し、少なくとも一つの概略平行な前記投光用光ビームを前記マーカ中心部が前記光ビーム内に包含されるように既知の角度から照射し、前記マーカ中心部からの散乱光と周辺部からの反射光をそれぞれ角度検出用光学系を有する傾き検出部により受光して、それら集光スポットの位置情報を基に前記マーカの位置および傾き情報を検出することを特徴とする三次元位置及び姿勢検出センサ。
IPC (3件):
G01B 11/00 ,  G01B 11/26 ,  G01C 9/06
FI (3件):
G01B 11/00 B ,  G01B 11/26 Z ,  G01C 9/06 A
Fターム (15件):
2F065AA04 ,  2F065AA09 ,  2F065AA17 ,  2F065AA37 ,  2F065DD02 ,  2F065FF01 ,  2F065FF41 ,  2F065GG06 ,  2F065GG07 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26
引用特許:
出願人引用 (2件)
  • 特開昭60-144606
  • 特開昭62-218802

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