特許

J-GLOBAL ID：200903094156685097

検査装置

発明者： 佐野 國夫 ,  山下 知
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  東京エレクトロン山梨株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-024688
公開番号（公開出願番号）：特開平8-250557
出願日： 1995年01月19日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：

【要約】【目的】検査装置に備えられた触体、例えばプローブ針のクリーニングを行うための導電性の材料で構成される接地されたクリーニング体を備えた検査装置を提供すること。【構成】被検査体1の測定端部に当接可能となるように構成された触体3を有するプローブ部10とこのプローブ部10に近隣する位置に被検査体1を載置する載置台11と、触体3をクリーニングするための接地された導電性クリーニング体5を設ける。

請求項（抜粋）：

被検査体の測定端部に当接可能に構成された触体を有するプローブ部と、このプローブ部に近隣する位置に設けられ、前記被検査体を載置するための載置台と前記触体をクリーニングするための接地された導電性クリーニング体とを具備したことを特徴とする検査装置。

IPC (3件)：

H01L 21/66 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/28

FI (3件)：

H01L 21/66 B ,  G01R 31/26 J ,  G01R 31/28 K