特許

J-GLOBAL ID：200903094164190480

複屈折測定システムの正確な校正

発明者： バオリャン、 ワン
出願人/特許権者： ハインズ インスツルメンツ インコーポレイテッド
代理人 (3件)： 松永 宣行 ,  小合 宗一 ,  佐藤 玲太郎
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-542877
公開番号（公開出願番号）：特表2005-509153
出願日： 2002年10月16日
公開日（公表日）： 2005年04月07日
要約：

【課題】【解決手段】複屈折測定システムを校正するための標準としてソレイユ・バビネ補償板を用いるシステム及び方法が提供される。他のものの間で、ソレイユ・バビネ補償板の表面を横切る遅れの変分とみなす新規な方法であるため、高精度かつ反復可能の校正が達成される。校正方法は、リターデーションレベルの範囲をまた光源の種々の周波数において測定するための種々の光学機構を有する複屈折測定システムにおいて用いられる。

請求項（抜粋）：

交差した偏光子を通過し、また前記偏光子間に、基準の角度を規定する光学軸を有する少なくとも1つの偏光変調器が存する光ビームのための経路を規定する光学機構を含む複屈折測定システムを校正する方法であって、 前記偏光子間に、開口表面と光学軸とを有するソレイユ・バビネ補償板と、該ソレイユ・バビネ補償板により誘起されるリターデーションのレベルを選択するためのセレクタ機構とを配置すること、 前記光ビームの偏光を変調する間に前記ソレイユ・バビネ補償板の光学軸を前記基準の角度に整列させること、 前記交差した偏光子を用いて前記開口表面上の第1の場所で前記ソレイユ・バビネ補償板のリターデーションを校正すること、 校正された前記ソレイユ・バビネ補償板の前記セレクタ機構を用いてリターデーションのレベルを選択すること、 前記複屈折測定システムを用いて前記第1の場所における前記ソレイユ・バビネ補償板のリターデーションのレベルを測定すること、及び 差を決定するために選択されたリターデーションレベルと測定されたリターデーションレベルとを比較することを含む、方法。

IPC (3件)：

G01J4/04 ,  G01M11/00 ,  G01N21/23

FI (3件)：

G01J4/04 A ,  G01M11/00 T ,  G01N21/23

Fターム (21件)：

2G059AA02 ,  2G059AA05 ,  2G059BB08 ,  2G059EE05 ,  2G059FF04 ,  2G059GG01 ,  2G059GG04 ,  2G059HH02 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ03 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ18 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ20 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK01 ,  2G059MM01 ,  2G059MM03 ,  2G059MM14 ,  2G086EE09 ,  2G086EE12

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 米国特許第6,473,179号明細書