特許

J-GLOBAL ID：200903094167116000

基板の検査方法および基板の製造方法

発明者： 佐々本 裕方 ,  中井 康博 ,  倉山 恭一
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-274307
公開番号（公開出願番号）：特開2001-099623
出願日： 1999年09月28日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
要約：

【要約】【課題】基板上に設置した突起状物の長さ、位置を短時間かつ精度よく検査する。【解決手段】基板上に設置された突起状物を検査するにあたり、撮像手段により基板上の突起状物を少なくとも1つ含む画像データを撮像し、この画像データ上で突起状物を横切る少なくとも1本の線分を設定するとともに、その線分が横切る輪郭線から突起状物の良否を判断することを特徴とする基板の検査方法。

請求項（抜粋）：

基板上に設置された突起状物を検査するにあたり、撮像手段により基板上の突起状物を少なくとも1つ含む画像データを撮像し、この画像データ上で突起状物を横切る少なくとも1本の線分を設定するとともに、その線分が横切る輪郭線から突起状物の良否を判断することを特徴とする基板の検査方法。

IPC (2件)：

G01B 11/24 ,  B05C 5/02

FI (2件)：

B05C 5/02 ,  G01B 11/24 K

Fターム (26件)：

2F065AA03 ,  2F065AA07 ,  2F065AA12 ,  2F065AA22 ,  2F065AA54 ,  2F065BB02 ,  2F065CC25 ,  2F065DD03 ,  2F065DD06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF42 ,  2F065GG01 ,  2F065HH02 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM02 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ32 ,  2F065QQ38 ,  2F065SS13 ,  4F041AA00