特許
J-GLOBAL ID：200903094167394515
赤外線検知素子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-172500
公開番号（公開出願番号）：特開平10-019666
出願日： 1996年07月02日
公開日（公表日）： 1998年01月23日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、メンブレン端部の位置変動に対する感度ばらつきを小さくすることを目的とする。【解決手段】 サーモパイル1におけるメンブレン端部15近傍に対応した部分の熱抵抗を、該部分から温接点13側に位置する部分の熱抵抗よりも小さくなるように構成したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
半導体基板と、該半導体基板の主平面上に形成されたメンブレンと、該メンブレン下方の前記半導体基板の一部を除去して形成され当該メンブレンを前記半導体基板から熱分離するための熱分離領域と、前記メンブレン上に温接点が形成されメンブレン端部近傍の前記半導体基板上に該半導体基板と絶縁して冷接点が形成されたサーモパイルとを備え、赤外線の入射で前記温接点と冷接点間に生じる温度差に応じた電圧出力により赤外線入射量を検知する赤外線検知素子において、前記サーモパイルにおける前記メンブレン端部近傍に対応した部分の熱抵抗が、該部分から前記温接点側に位置する部分の熱抵抗よりも小さくなるように構成してなることを特徴とする赤外線検知素子。
IPC (3件)：
G01J 1/02
, H01L 35/32
, H02N 11/00
G01J 1/02 C
, H01L 35/32 A
, H02N 11/00 A
