特許
J-GLOBAL ID：200903094173057091
膜被着物およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-215611
公開番号（公開出願番号）：特開平6-033223
出願日： 1992年07月20日
公開日（公表日）： 1994年02月08日
要約：
【要約】【目的】 硬度および靱性の両方に優れた膜を基体の表面に形成した膜被着物およびその製造方法を提供する。【構成】 この膜被着物は、基体2の表面に、元素周期表の4A族元素、3B族元素および窒素より成る窒素化合物の膜6を形成し、かつ当該膜6と基体2との界面に、両者6、2の構成元素より成る混合層4を形成して成る。このような膜被着物は、真空容器内で基体に対して、4A族元素を含む物質の蒸着と、3B族元素を含む物質の蒸着と、窒素イオンを含むイオンの照射とを行うことによって製造することができる。
請求項（抜粋）：
基体の表面に、元素周期表の4A族元素、3B族元素および窒素より成る窒素化合物の膜を形成し、かつ当該膜と基体との界面に両者の構成元素より成る混合層を形成して成ることを特徴とする膜被着物。
IPC (2件)：
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