特許

J-GLOBAL ID：200903094173897014

波長切り換え可能なレーザーにもとづいてエッチングした回路ボードの処理システム

発明者： ソン ユンロン ,  エドワード スヴェンソン
出願人/特許権者： エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 杉村 興作 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-543296
公開番号（公開出願番号）：特表2003-516625
出願日： 2000年12月05日
公開日（公表日）： 2003年05月13日
要約：

【要約】本発明の波長切り換え可能なレーザー(10)は固体レーザー源(12)にもとづくものであり、通常は、このレーザー源の4次高調波のUVレーザービーム(26)を処理用に使用して、2次高調波の「緑色」レーザービーム(28)は減衰させて消耗している。しかし、本発明は通常消耗する緑色レーザービームを、ECB(30)の導体層(32,36)の処理用に使用して、これにより、緑色エネルギーがUVエネルギーよりもパワーが大きいことによって処理性能を向上させる。ポッケルスセル(16)がレーザービームの偏光の切り換えに影響を与えて、これにより、異なる材料を処理するために、緑色ビームまたはUVビームのいずれかをECBに指向させる。本発明は単一のレールレーザー源のみを必要とし、従って単純で、費用効果的で、効率的で、本質的に整列し、そして高い処理性能を有する。

請求項（抜粋）：

誘電層によって分離された少なくとも第1及び第2導体層を具えたエッチングした回路ボード(ECB)内のホールを処理する装置において、 この装置が、緑色波長ビームとUV波長ビームとを選択的に発生する単一のレールレーザー系を具えて、前記緑色波長ビームが、前記第1導体層及び前記絶縁層の一部分を通るホールを処理して、前記UV波長ビームが、前記絶縁層の残りの部分を通るホールの処理を完了させて、前記UV波長ビームが前記第2導体層上で処理を終了することを特徴とするホールの処理装置。

IPC (9件)：

H05K 3/00 ,  B23K 26/00 330 ,  B23K 26/06 ,  H01S 3/00 ,  H01S 3/109 ,  H01S 3/115 ,  H05K 3/40 ,  H05K 3/46 ,  B23K101:42

FI (10件)：

H05K 3/00 N ,  B23K 26/00 330 ,  B23K 26/06 E ,  H01S 3/00 B ,  H01S 3/109 ,  H01S 3/115 ,  H05K 3/40 E ,  H05K 3/46 N ,  H05K 3/46 X ,  B23K101:42

Fターム (46件)：

4E068AF00 ,  4E068CA02 ,  4E068CA04 ,  4E068CB10 ,  4E068CD05 ,  4E068DA11 ,  5E317AA24 ,  5E317BB02 ,  5E317BB03 ,  5E317BB04 ,  5E317BB12 ,  5E317BB13 ,  5E317BB14 ,  5E317BB15 ,  5E317CC31 ,  5E317CD32 ,  5E317GG17 ,  5E346AA13 ,  5E346AA15 ,  5E346AA43 ,  5E346CC04 ,  5E346CC09 ,  5E346CC10 ,  5E346CC16 ,  5E346CC32 ,  5E346CC33 ,  5E346CC34 ,  5E346CC37 ,  5E346CC38 ,  5E346CC39 ,  5E346DD32 ,  5E346FF04 ,  5E346GG15 ,  5E346HH33 ,  5F072AB08 ,  5F072AB15 ,  5F072HH07 ,  5F072JJ08 ,  5F072KK12 ,  5F072KK13 ,  5F072KK15 ,  5F072QQ02 ,  5F072RR03 ,  5F072RR05 ,  5F072SS06 ,  5F072YY06