特許
J-GLOBAL ID：200903094179285312
ペースト塗布機
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-349673
公開番号（公開出願番号）：特開2002-153792
出願日： 2000年11月16日
公開日（公表日）： 2002年05月28日
要約：
【要約】【課題】 横一線に配列された複数のペースト吐出孔を有するノズルを用いて基板表面に同時にパターン塗布描画する場合、各ペースト吐出孔でのペースト塗布量はほぼ等しく、塗布描画中にノズル下端で基板表面を損傷しないようにする。【解決手段】 基板の表面上で上下(Z軸)方向に移動可能な共通ベース14上に、複数の塗布ヘッド131〜13n からなる塗布ヘッド部13が設けられている。夫々の塗布ヘッド13i(i=1,2,......,n)はシリンジ17iとノズル18iと距離センサ19iと固定部15i,移動部16iからなるリニアモータとを備えており、距離センサ19i で計測したノズル18i の高さに応じてリニアモータを制御することにより、塗布ヘッド131〜13n毎に独立に基板からのノズル18iの高さを設定することができる。
請求項（抜粋）：
ノズルのペースト吐出孔に対向するようにして基板をテ-ブル上に載置し、ペースト収納筒に充填したペーストを該ノズルのペースト吐出孔から該基板上に吐出させながら該基板と該ノズルとの相対位置関係を変化させることにより、該基板上に所望形状のペーストパタ-ンを塗布描画するペースト塗布機において、横一列に配列された複数の該ペースト吐出孔を有するノズルと該基板に対する該ノズルの高さ計測手段とを対とする塗布ヘッドが複数横一列に並ぶように配置されてなる塗布ヘッド部と、該塗布ヘッド毎に、各高さ計測手段の計測結果により、該ノズルと該基板との間隔を個別に調整しつつ、基板の表面方向での各塗布ヘッドの基板に対する相対位置を同時に変化させる制御部とを設けたことを特徴とするペースト塗布機。
IPC (2件)：
B05C 5/00 101
, B05B 1/14
B05C 5/00 101
, B05B 1/14 Z
4F033AA01
, 4F033BA03
, 4F033CA04
, 4F033DA01
, 4F033EA05
, 4F033LA12
, 4F033LA13
, 4F033NA01
, 4F041AA02
, 4F041AA05
, 4F041AB02
, 4F041BA04
, 4F041BA13
, 4F041BA24
, 4F041BA57
