特許

J-GLOBAL ID：200903094179463067

ステージ装置及び露光装置

発明者： 堀川 浩人
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-005667
公開番号（公開出願番号）：特開2002-217082
出願日： 2001年01月12日
公開日（公表日）： 2002年08月02日
要約：

【要約】【課題】 気体軸受によって作用される気体に起因するステージの変形を抑えることができるステージ装置、及びこのステージ装置を備えて精度良い露光処理を行うことができる露光装置を提供することを目的とする。【解決手段】 レチクルステージ2は、レチクル微動ステージ18と、レチクル微動ステージ18の下面18aに対向する上面16aを有するレチクル粗動ステージ16と、下面18aの複数の位置に設けられ、上面16aに対して気体を吹き出す吹出部62をそれぞれ備えた複数のエアベアリング60と、複数のエアベアリング60どうしの間に設けられ、下面18aと上面16aとの間の空間の気体を排気するバキューム部66とを備えている。

請求項（抜粋）：

第1面を有する第1部材と、前記第1面に対向する第2面を有する第2部材と、前記第1面の複数の位置に設けられ、前記第2面に対して気体を吹き出す気体吹出部をそれぞれ備えた複数の気体軸受とを有するステージ装置において、前記複数の気体軸受どうしの間に、前記第1面と前記第2面との間の空間の気体を排気する排気部を備えたことを特徴とするステージ装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  F16C 32/06 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

F16C 32/06 A ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 515 F ,  H01L 21/30 515 G

Fターム (30件)：

3J102AA02 ,  3J102BA05 ,  3J102CA34 ,  3J102EA02 ,  3J102EA13 ,  3J102EA22 ,  3J102GA20 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA02 ,  5F031HA13 ,  5F031HA53 ,  5F031HA55 ,  5F031JA02 ,  5F031JA06 ,  5F031JA14 ,  5F031JA17 ,  5F031JA32 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031KA08 ,  5F031LA03 ,  5F031LA04 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F031NA02 ,  5F031PA14 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC17