特許
J-GLOBAL ID:200903094181951222
MEMSジャイロスコープのためのパルス幅変調駆動信号
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (6件):
社本 一夫
, 増井 忠弐
, 小林 泰
, 千葉 昭男
, 富田 博行
, 西山 文俊
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-501879
公開番号(公開出願番号):特表2005-524077
出願日: 2003年04月29日
公開日(公表日): 2005年08月11日
要約:
MEMSジャイロスコープは、MEMSジャイロスコープにパルス幅変調駆動信号を提供する駆動エレクトロニクスに結合される。パルス幅駆動信号は、ピックオフ信号及び/又は入力信号を直流閾値レベルと比較することにより生成される。
請求項(抜粋):
マイクロエレクトロメカニカル・システムの回転の速度を測定するためのシステムであって、
回転の速度を測定するためのMEMSジャイロスコープと、
前記MEMSジャイロスコープに結合される駆動エレクトロニクスと、
を結合して含み、
前記駆動エレクトロニクスは、前記MEMSジャイロスコープにパルス幅変調駆動信号を提供することを特徴とする、システム。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (5件):
2F105BB04
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD05
, 2F105CD11
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