特許
J-GLOBAL ID：200903094182842737
電子ビームの通過位置検出方法及び該方法に用いる真空チェンバー
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山田 恒光 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-196682
公開番号（公開出願番号）：特開平8-064396
出願日： 1994年08月22日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：
【要約】【目的】 多極電磁石の中心に対する電子ビームの通過位置を適確に判定できるようにする。【構成】 アンテナ23を多極電磁石装置19の磁場中心に位置させたうえ、多極電磁石装置19の中心に対するアンテナ23の相対位置と各ビームポジションモニタ17の電圧の比との関係を予め求めておき、電子ビームがビーム室14を通過する際に、ビームポジションモニタ17により実測した電圧の比を求め、この実測した電圧の比と予め求めておいた多極電磁石装置19の中心に対するアンテナ23の相対位置と各ビームポジションモニタ17の電圧の比との関係とに基づき、多極電磁石装置19の中心に対する電子ビームの通過位置を判定する。
請求項（抜粋）：
複数の電磁石(20)を環状に配置した多極電磁石装置(19)の中心部に挿通され且つ多極電磁石装置(19)に対する挿通部分の近傍にビームポジションモニタ(17)を有する真空チェンバー(26)のビーム室(14)にアンテナ(23)を配置し、前記の各電磁石(20)を励磁してビーム室(14)の内部に磁場を発生させることにより多極電磁石装置(19)の磁場中心にアンテナ(23)を位置させ、該アンテナ(23)に負の電圧を印加して各ビームポジションモニタ(17)に発生する電圧を計測しながらアンテナ(23)を上下左右へ変位させて、多極電磁石装置(19)の中心に対するアンテナ(23)の相対位置と各ビームポジションモニタ(17)の電圧の比との関係を予め把握しておき、ビーム室(14)に電子ビームを通過させる際に、各ビームポジションモニタ(17)に発生する電圧の比を求め、先に把握した多極電磁石装置(19)の中心に対するアンテナ(23)の相対位置と各ビームポジションモニタ(17)の電圧の比との関係に基づき、多極電磁石装置(19)の中心に対する電子ビームの通過位置を判定することを特徴とする電子ビームの通過位置検出方法。
IPC (2件)：
前のページに戻る
