特許
J-GLOBAL ID：200903094192059755
基板搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-037643
公開番号（公開出願番号）：特開平8-213444
出願日： 1995年02月02日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：
【要約】【目的】基板搬送装置が姿勢の異なる基板についても受載、搬送可能とし、半導体製造装置の構成の簡略化、設備コストの低減を図る。【構成】基板載置板3の上面所要箇所に基板4を受載する外側基板受載子38を設け、該外側基板受載子の内側所要箇所に基板を受載する内側基板受載子39を設け、該内側基板受載子の頂点の高さを前記外側基板受載子の基板受載面よりも低く設定し、受載する基板の長軸が基板載置板の長手方向と合致する場合は、外側基板受載子が基板を受載し、基板の長軸が基板載置板の長手方向と直交する場合は、内側基板受載子が基板を受載する。
請求項（抜粋）：
基板載置板の上面所要箇所に基板を受載する外側基板受載子を設け、該外側基板受載子の内側所要箇所に基板を受載する内側基板受載子を設け、該内側基板受載子の頂点の高さを前記外側基板受載子の基板受載面よりも低く設定したことを特徴とする基板搬送装置。
IPC (2件)：
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