特許

J-GLOBAL ID：200903094194126085

モリブデン-タングステン系ターゲット

発明者： 上野 友典
出願人/特許権者： 日立金属株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-209742
公開番号（公開出願番号）：特開平11-036067
出願日： 1997年07月18日
公開日（公表日）： 1999年02月09日
要約：

【要約】【課題】 モリブデン-タングステン系ターゲットの抗折力の低下を抑制することを目的とする。【解決手段】 本発明はモリブデンとタングステンを主体としており、組織はモリブデン粒子とタングステン粒子が1.0μm以下の接合をもって焼結したモリブデン-タングステン系ターゲットである。好ましくはその抗折力が750MPa以上であり、また平均結晶粒度は30μm以下が好ましく、密度は相対密度において98%以上が好ましい。

請求項（抜粋）：

モリブデンとタングステンを主体としており、組織はモリブデン粒子とタングステン粒子が1.0μm以下の拡散接合距離をもって焼結したものであることを特徴とするモリブデン-タングステン系ターゲット。

IPC (4件)：

C23C 14/34 ,  C22C 27/04 ,  G09F 9/35 303 ,  C22C 1/04

FI (4件)：

C23C 14/34 A ,  C22C 27/04 ,  G09F 9/35 303 ,  C22C 1/04 D