特許

J-GLOBAL ID：200903094199154338

ポリイミド前駆体組成物およびそれを用いたパターン形成方法

発明者： 吉川 治彦 ,  片岡 文雄 ,  鍜治 誠 ,  杉浦 実
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 富田 和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-289539
公開番号（公開出願番号）：特開2000-122299
出願日： 1998年10月12日
公開日（公表日）： 2000年04月28日
要約：

【要約】【課題】剥離することなく水溶液により短時間で現像でき、感度が高い。【解決手段】ポリイミド前駆体100重量部と、下記一般式(化1)で表わされる有機ケイ素化合物0.1〜50重量部とを含む。ただし、R9は2価の有機基を、R10およびR11はそれぞれ、アルキル基、アルケニル基及び芳香族基から独立して選択された基を表わし、mは1〜3の整数である。OCN-R9-Si(OR10)mR113-m ...(化1)

請求項（抜粋）：

ポリイミド前駆体と、下記一般式(化1)で表わされる有機ケイ素化合物とを含むことを特徴とするポリイミド前駆体組成物。【化1】(ただし、式中、R9は2価の有機基を表わし、R10およびR11はそれぞれ、アルキル基、アルケニル基及び芳香族基から独立して選択された基を表わし、mは1〜3の整数である。)

IPC (3件)：

G03F 7/075 501 ,  C08L 79/08 ,  G03F 7/037 501

FI (3件)：

G03F 7/075 501 ,  C08L 79/08 ,  G03F 7/037 501

Fターム (15件)：

2H025AA01 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AD01 ,  2H025BC69 ,  2H025BC84 ,  2H025BC85 ,  2H025BC86 ,  2H025BC92 ,  2H025CA00 ,  2H025CC20 ,  2H025FA07 ,  2H025FA17 ,  4J002ES018 ,  4J002GP03