特許

J-GLOBAL ID：200903094203913257

ダイシング装置

発明者： 長田 正照 ,  東 正幸 ,  下田 浩史
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-054974
公開番号（公開出願番号）：特開平11-251263
出願日： 1998年03月06日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：

【要約】【課題】ブレードの交換を手間をかけずに容易に行うことができるダイシング装置を提供する。【解決手段】本発明は、ブレード18を覆うフランジカバー36を2分割し、分割した第1カバー38に第2カバー40を、ブレード18の回転軸心18Aと平行な軸42を介して回動自在に連結した。これにより、ブレード18の交換時には、第2カバー40を開位置に回動するだけで、L字状の洗浄水噴射ノズル20、20がブレード18の下方から側方に退避するので、ブレード18の交換を行うことができる。

請求項（抜粋）：

切断刃をカバーで覆い該切断刃を高速回転させてワークを所定の形状に切断すると共に、前記カバーに設けられたノズルからワーク切断中の切断刃の両面に向けて液体を噴射するダイシング装置において、前記カバーを2分割すると共に、該分割された第1カバー及び第2カバーを前記切断刃の回転軸と平行な軸を介して回動自在に連結し、第1カバー又は第2カバーを回動して前記ノズルを切断刃から退避させることにより、切断刃の交換を可能としたことを特徴とするダイシング装置。