特許

J-GLOBAL ID：200903094204150834

導電膜及びその製造方法

発明者： 森本 剛 ,  平塚 和也 ,  竹宮 聡 ,  阿部 啓介 ,  久保田 恵子 ,  朝長 浩之
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-313371
公開番号（公開出願番号）：特開平5-124838
出願日： 1991年11月01日
公開日（公表日）： 1993年05月21日
要約：

【要約】【構成】塩化ルテニウム等のルテニウム化合物と、Si化合物、Zr化合物、Ti化合物、Al化合物のうち少なくとも1種とを含む塗布液を、ガラス基体上にスプレーやスピンコートにより塗布し、加熱して、酸化ルテニウムを含む導電膜を形成する。【効果】大面積にわたり、効率よく優れた導電膜を形成できる。

請求項（抜粋）：

ルテニウム化合物と、その他の金属化合物とを含む塗布液を基体上に塗布した後、加熱することを特徴とする、酸化ルテニウムを含む導電膜の製造方法。

IPC (4件)：

C03C 17/25 ,  C01G 55/00 ,  C03C 4/14 ,  H01J 29/88

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-101101
  
• 特開平3-177338
  
• 特開平3-104101
  
• 特開昭59-195504