特許

J-GLOBAL ID：200903094206902388

石英系光導波路及びその製造方法

発明者： 斎藤 稔
出願人/特許権者： 沖電気工業株式会社
代理人 (1件)： 大西 健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-050630
公開番号（公開出願番号）：特開2000-249854
出願日： 1999年02月26日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】【課題】 この発明による光導波路の製造方法は、近接した数μmの間隔まで接近した2本のコアの間にボイドが発生することの無い、石英系光導波路及びその製造方法を提供する。【解決手段】 石英系材料よりなる光導波路において、CVD法により石英系光導波路材料を堆積する際に有機ポリマーを堆積し、コア間を完全に埋め込むことが可能となり、低損失かつ設計通りの特性を有する光導波路を作ることができる。

請求項（抜粋）：

基板上に石英系材料からなる下部クラッド層と、前記下部クラッド層上に石英系材料からなる少なくとも2本のチャンネル化されたコアを有する光導波路において、前記コアを被覆するように、石英系材料からなる第1上部クラッド層を有し、前記第1上部クラッド層の上にさらに有機ポリマーからなる第2上部クラッド層を有することを特徴とする光導波路。

IPC (2件)：

G02B 6/12 ,  G02B 6/13

FI (2件)：

G02B 6/12 N ,  G02B 6/12 M

Fターム (9件)：

2H047KA04 ,  2H047LA12 ,  2H047PA02 ,  2H047PA05 ,  2H047PA21 ,  2H047PA24 ,  2H047QA04 ,  2H047QA05 ,  2H047TA41