特許
J-GLOBAL ID：200903094211599464
基板温度制御装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
上村 輝之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-113575
公開番号（公開出願番号）：特開2000-306796
出願日： 1999年04月21日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：
【要約】【課題】 熱交換プレート1上で熱処理される基板29の温度分布を低減する。【解決手段】 加熱手段又は冷却手段をもった熱交換プレート1は、内部に冷却液が流れ、表面にはフォイル状の電熱ヒータ21〜27が貼付されている。基板29を常温から高温まで加熱するときには、ヒータ21〜27を短時間だけ駆動した後短時間だけ停止させるという断続駆動を繰り返す。基板29を高温から常温まで冷却するときには、冷却液を大流量で流すが、この冷却の開始時には基板29を若干距離だけ高速に持ち上げて熱交換プレート1から遠ざけ、しばらく経ってから基板29を低速で熱交換プレート1上に降ろす。
請求項（抜粋）：
加熱手段又は冷却手段をもった熱交換プレート上で基板を熱処理するときの基板温度を制御するものにおいて、前記基板を所定時間区間にわたり継続的に加熱又は冷却するために、前記加熱手段又は前記冷却手段を前記所定時間区間にわたり繰り返し断続駆動する断続制御手段を備えた基板温度制御装置。
Fターム (2件)：
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