特許
J-GLOBAL ID：200903094221717309
ブラスト研削方法、およびそれを用いたガス放電パネルの隔壁形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-180279
公開番号（公開出願番号）：特開平9-029837
出願日： 1995年07月17日
公開日（公表日）： 1997年02月04日
要約：
【要約】【目的】 基板またはその上に配設された厚膜層に微粒子を噴射して所定パターンの溝を形成するブラスト研削方法において、研削微粒子に起因したごみの発生をなくして他の工程への悪影響(歩留り低下)を防止し、かつ、研削微粒子の循環的再利用を不要にして装置の小型化やプロセスの簡略化を図る。【構成】 研削微粒子として、液体または気体の少なくとも一方を低温化処理により固体化した微粒子(例えば、氷粒子2)を用いることを特徴とするブラスト研削方法、およびそれを用いたガス放電パネルの隔壁形成方法。
請求項（抜粋）：
基板、またはその上に配設された厚膜層に、微粒子を噴射して所定パターンの溝を形成するブラスト研削方法において、該微粒子として、液体または気体の少なくとも一方を低温化処理により固体化した微粒子を用いることを特徴とするブラスト研削方法。
IPC (3件)：
B29C 59/00
, H01J 9/02
, H01J 9/24
B29C 59/00 C
, H01J 9/02 F
, H01J 9/24 B
