特許
J-GLOBAL ID:200903094224358954

酸化物半導体ガスセンサー及びその物質

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 石田 敬 (外3名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-502565
公開番号(公開出願番号):特表平8-500447
出願日: 1994年06月20日
公開日(公表日): 1996年01月16日
要約:
【要約】特定のガス又は蒸気への抵抗ガスセンサーの応答の選択性は、その用途には従来知られていなかった特定のガス検出性物質を選択することによって改良され、用途としてCOの存在中の炭化水素、H2 S、SO2、塩素、NO2、CO2(特に低濃度)、CFC、アンモニア、分圧の測定による遊離酸素、各種の有機物ガス又は蒸気がある。
請求項(抜粋):
標的ガスを構成する少なくとも1種のガス又は蒸気の濃度変化に応答し、他のガス又は蒸気よりも多く電気抵抗が変化し、それによって標的ガスを選択的に検出する半導体検出素子を含むガスセンサーであって、検出素子が次の物質より選択された物質であるガスセンサー:(1)Ba6Fe(1+x)Nb(9-x)O30で、
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 特開平4-065662
  • 特開平3-020658
  • 特開昭59-153160
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