超音波洗浄装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木晴敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-000526
公開番号（公開出願番号）：特開平10-192799
出願日： 1997年01月07日
公開日（公表日）： 1998年07月28日
要約：

【要約】【課題】透過率が約100[%]になる傾斜角θで洗浄槽内に並置される多数枚の被洗浄物に超音波振動子からの超音波を入力し、均一で、且つ確実な洗浄を行なう超音波洗浄装置を提供する。【解決手段】洗浄槽4の側面に間隔P=λ/sinθ(λは超音波の波長,θは透過率約100[%]の傾斜角)で超音波振動子1をアレイ状に配置し、洗浄槽4内の被洗浄物5に傾斜角θの超音波振動弾性波を入射する。これにより、多数枚の被洗浄物のすべてがほぼ均一に、且つ確実に洗浄される。

請求項（抜粋）：

板状の被洗浄物と洗浄液とを収容する洗浄槽に波長λの超音波振動を発生する超音波振動体が配置されており、前記洗浄液内を伝搬する前記超音波振動の伝搬方向が、前記被洗浄物に斜めに交差し、且つ該被洗浄物の受波面の法線方向に対する傾斜角θが該被洗浄物を透過する前記超音波振動の振動エネルギーの透過率が著しく改善される角度範囲になるように構成された超音波洗浄装置において、前記超音波振動体は、前記被洗浄物と平行に配置され、且つ以下の関係式を満たす間隔Pで配列した振動子の集合体からなることを特徴とする超音波洗浄装置。P=λ/sinθ

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