特許

J-GLOBAL ID：200903094236817490

基板トレー、基板トレー敷設用シート及び基板収納方法

発明者： 漆島 路高 ,  末永 忠利 ,  高橋 勇 ,  成澤 昌一
出願人/特許権者： 株式会社エム・ビー・ケイ マイクロテック ,  株式会社ユーテム ,  成澤 昌一
代理人 (1件)： 福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-368234
公開番号（公開出願番号）：特開2003-168731
出願日： 2001年12月03日
公開日（公表日）： 2003年06月13日
要約：

【要約】【課題】凹凸を有するウエハであっても損傷を招くことなく収納することが可能なウエハキャリアを提供すること。【解決手段】基板トレー7は、下方に向かい凸状に湾曲する湾曲部1と、湾曲部1の周縁に設けられた平坦部4と、平坦部4の外方に設けられたガイド部3とを有し、湾曲部1の周縁と平坦部4との間に段差4を有していることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

下方に向かい凸状に湾曲する湾曲部と、当該湾曲部の周縁に設けられた平坦部と、当該平坦部の外方に設けられたガイド部とを有し、当該湾曲部の周縁と当該平坦部との間に段差を有することを特徴とする基板トレー。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B65D 1/34 ,  B65D 21/02 ,  B65D 85/86

FI (4件)：

H01L 21/68 U ,  B65D 1/34 ,  B65D 85/38 R ,  B65D 21/02 A

Fターム (56件)：

3E006AA01 ,  3E006BA10 ,  3E006CA01 ,  3E006DA04 ,  3E006DB03 ,  3E033AA10 ,  3E033BA06 ,  3E033BA07 ,  3E033BA10 ,  3E033BA13 ,  3E033BB01 ,  3E033DA08 ,  3E033DD02 ,  3E033DD05 ,  3E033DD13 ,  3E096AA01 ,  3E096BA15 ,  3E096BA16 ,  3E096BA17 ,  3E096BA20 ,  3E096BB03 ,  3E096CA06 ,  3E096CA19 ,  3E096CB02 ,  3E096CC01 ,  3E096DA03 ,  3E096DA04 ,  3E096DA23 ,  3E096DB01 ,  3E096DC01 ,  3E096EA01X ,  3E096EA02X ,  3E096EA06X ,  3E096EA10X ,  3E096FA03 ,  3E096FA07 ,  3E096FA09 ,  3E096FA10 ,  3E096FA15 ,  3E096FA16 ,  3E096FA27 ,  3E096FA28 ,  3E096FA30 ,  3E096FA31 ,  3E096GA01 ,  3E096GA05 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA13 ,  5F031EA02 ,  5F031EA10 ,  5F031EA19 ,  5F031EA20 ,  5F031FA30 ,  5F031PA21 ,  5F031PA26

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 半導体ウェハーの容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-166126   出願人：エスジェエス-トムソンミクロエレクトロニクスソシエテアノニム