特許

J-GLOBAL ID：200903094248729384

投影型露光装置用フィルター

発明者： 福島 隆史 ,  杉原 孝志 ,  高木 悛公
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-218790
公開番号（公開出願番号）：特開平6-333803
出願日： 1993年09月02日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：

【要約】【構成】 投影型露光装置の基板に投影されるべきパターンの0次回折光を投影型露光装置の投影レンズの瞳面において実質的に0%に遮断する1つの円形不透光部と、この円形不透光部の周囲に同心で接し、上記パターンの0次の回折光の一部及び+1次の回折光又は-1次の回折光を投影レンズの瞳面において通過させる輪状半透光部と、この輪状半透光部の周囲に同心で接し、上記パターンの+1次の回折光又は-1次の回折光を投影レンズの瞳面において実質的に100%通過させる輪状透光部とからなる投影型露光装置用フィルター。【効果】 投影レンズの瞳面に入射する0次の回析光の遮断と露光光の十分なエネルギーの確保という相反する要求を調整し、それによって投影露光装置の解像度を焦点裕度を下げることなく簡便に向上することができる。

請求項（抜粋）：

投影型露光装置の基板に投影されるべきパターンの0次回折光を投影型露光装置の投影レンズの瞳面において実質的に0%に遮断する1つの円形不透光部と、この円形不透光部の周囲に同心で接し、上記パターンの0次の回折光の一部及び+1次の回折光又は-1次の回折光を投影レンズの瞳面において通過させる輪状半透光部と、この輪状半透光部の周囲に同心で接し、上記パターンの+1次の回折光又は-1次の回折光を投影レンズの瞳面において実質的に100%通過させる輪状透光部とからなる投影型露光装置用フィルター。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 311 L ,  H01L 21/30 311 S

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-143762   出願人：ソニー株式会社
• 特開昭61-091662
  
• 特開昭54-007855