特許
J-GLOBAL ID：200903094249355690
多層膜反射鏡、その製造方法、多層膜反射鏡の反射率回復方法、軟X線光学系及び軟X線露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
渡部 温
, 柳瀬 睦肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-195765
公開番号（公開出願番号）：特開2004-037295
出願日： 2002年07月04日
公開日（公表日）： 2004年02月05日
要約：
【課題】多層膜表面に付着した飛散粒子を除去することにより多層膜反射鏡の反射率を容易に回復できる多層膜反射鏡、その製造方法、多層膜反射鏡の反射率回復方法、軟X線光学系及び軟X線露光装置を提供する。【解決手段】本発明に係る多層膜反射鏡は、屈折率の異なる少なくとも二種類以上の物質を交互に又は周期的に一定の周期長で積層してなる多層膜を備えた多層膜反射鏡において、基板上に形成された多層膜20と、この多層膜の最上層上に形成されたAg層23と、を具備する。この多層膜反射鏡の反射率を回復する場合、Ag層23上に飛散粒子であるタングステンが付着した多層膜反射鏡のAg層23を硝酸で溶解することにより、多層膜20からタングステン及びAg層23を除去し、多層膜20の最上層上にAg層24を再形成する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
屈折率の異なる少なくとも二種類以上の物質を交互に又は周期的に一定の周期長で積層してなる多層膜を備えた多層膜反射鏡において、
基板上に形成された多層膜と、
この多層膜の最上層上に形成された溶解性薄膜と、
を具備することを特徴とする多層膜反射鏡。
IPC (4件)：
G21K1/06
, G03F7/20
, G21K5/02
, H01L21/027
G21K1/06 C
, G21K1/06 D
, G03F7/20 503
, G21K5/02 X
, H01L21/30 531A
2H097CA15
, 2H097GB00
, 2H097LA10
, 5F046GB01
