特許
J-GLOBAL ID：200903094249798177
エッチング液の精製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 秀樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-253672
公開番号（公開出願番号）：特開平7-086260
出願日： 1993年09月17日
公開日（公表日）： 1995年03月31日
要約：
【要約】【目的】 燐酸水溶液をエッチング液とする窒化珪素膜のエッチングにおいて、エッチング液中に生成する被エッチング物質の除去が容易で、効率的なエッチング装置の運転を可能にすることにある。【構成】 エッチング液の精製方法において、窒化珪素膜のエッチングに使用された燐酸水溶液からなるエッチング液にフッ化水素を加えて加熱し、該エッチング液中に含まれる珪素化合物と前記フッ化水素との反応生成物である珪素のフッ化物を蒸発する水分とともに除去するようにした。また、前記窒化珪素膜のエッチングと併行して前記エッチング液に前記フッ化水素を加えることができる。
請求項（抜粋）：
窒化珪素膜のエッチングに使用された燐酸水溶液からなるエッチング液にフッ化水素を加えて加熱し、該エッチング液中に含まれる珪素化合物と前記フッ化水素との反応生成物である珪素のフッ化物を蒸発する水分とともに除去することを特徴とするエッチング液の精製方法。
IPC (2件)：
H01L 21/308
, H01L 21/306
