特許
J-GLOBAL ID：200903094252649883
ウェーハ収納体
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-092075
公開番号（公開出願番号）：特開平8-288377
出願日： 1995年04月18日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：
【要約】【目的】 アウトガスがほとんど発生せず、収納されたウェーハを汚染することがないウェーハ搬送用カセットまたはケースなどのウェーハ収納体を提供すること。【構成】 ウェーハ搬送用カセット20および収納ケース26などのウェーハ収納体が、ポリブチレンテレフタレート樹脂で構成される。または、この収納体がパラオキシ安息酸およびテレフタロイルなどを原料とする液晶ポリマーで構成される。このような材料で構成することにより、収納体からのアウトガスとしての有機物の量を少なくすることができ、ウェーハの有機物汚染を有効に防止する。
請求項（抜粋）：
ウェーハを取り扱う際に用いられるウェーハ収納体が、ポリブチレンテレフタレートを主成分とする樹脂で構成されるウェーハ収納体。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 T
, B65G 49/07 L
